2018年3月13日,北方華創(chuàng)再傳捷報,由北方華創(chuàng)下屬子公司北方華創(chuàng)微電子自主開發(fā)的AlPadPVD成功進駐上海集成電路研發(fā)中心。
北方華創(chuàng)微電子AlPadPVD設備主要應用于90-14nm技術節(jié)點的BondPad和AlInterconnect工藝,設備突破了大產能傳輸平臺、高溫靜電卡盤、先進磁控濺射源等一系列關鍵技術,解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術難題,設備綜合性能達到國際領先水平,得到業(yè)內廣泛認可。客戶遍及Logic、DRAM、Norflash、3DNAND、FPD等領域,并且已成為多家集成電路制造企業(yè)的Baseline設備。AlPadPVD設備良好的用戶口碑和客戶端穩(wěn)定量產的卓越表現(xiàn),為其贏得了國內外知名廠商的肯定和好評。同時,該設備也憑借優(yōu)異的機臺表現(xiàn)和廣泛的市場認可榮獲了首屆集成電路產業(yè)聯(lián)盟創(chuàng)新獎。
上海萊士通過復審 繼續(xù)享受高新技術企業(yè)優(yōu)惠政策2018-03-13 11:28
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