證券日?qǐng)?bào)網(wǎng)訊 ?賽微電子11月12日在互動(dòng)平臺(tái)回答投資者提問時(shí)表示，公司參股子公司瑞典Silex此前已實(shí)現(xiàn)MEMS-OCS的量產(chǎn)。公司控股子公司北京Fab3此前已實(shí)現(xiàn)MEMS-OCS的風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)。MEMS-OCS是一組由指定數(shù)量平面鏡所構(gòu)成的微鏡陣列，可用于精確調(diào)節(jié)光鏈路的折射方向，實(shí)現(xiàn)光鏈路之間的信號(hào)切換與雙向傳播，提高運(yùn)算系統(tǒng)的整體性能及穩(wěn)定性，同時(shí)降低系統(tǒng)成本與功耗，可在數(shù)據(jù)中心網(wǎng)絡(luò)、超算系統(tǒng)集群等場(chǎng)景中得到廣泛應(yīng)用。MEMS-OCS的技術(shù)壁壘高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜精密，核心在于其精巧的驅(qū)動(dòng)機(jī)制，在制造工藝方面，MEMS光開關(guān)采用了一系列先進(jìn)的微加工技術(shù)，如光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕和晶片鍵合等。MEMS-OCS的開發(fā)涉及光學(xué)、機(jī)械、電子、熱學(xué)多領(lǐng)域知識(shí)，需要在光路損耗、切換速度、機(jī)械穩(wěn)定性之間取得平衡。同時(shí)，大規(guī)模NxN陣列的設(shè)計(jì)與控制，對(duì)信號(hào)同步要求高，需保證在數(shù)百萬次機(jī)械動(dòng)作中穩(wěn)定可靠。MEMS-OCS的晶圓加工、表面鍍膜、微機(jī)械結(jié)構(gòu)釋放等工序均必須高度精準(zhǔn)、批次穩(wěn)定，其任何微小瑕疵，都可能在生產(chǎn)中被放大為良率下降的隱患。MEMS-OCS的結(jié)構(gòu)復(fù)雜精密，工藝技術(shù)壁壘較高。

（編輯 王雪兒）